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第121章 三大件的解决方案（第1页）

EUV光刻机的核心技术，主要由三大系统构成。

首先是EUV光源系统，这个系统负责制造光刻过程中，需要用到的特殊光线。

从第一代的UV光刻机，到第五代的EUV光刻机，光线的波长也从436nm，缩短到了13.5nm，目前所有的光刻机，就是通过光线的不同，来区分技术等级的。

这其中主要涉

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